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  2.2017 Infrarotlicht von einer Laserdiode erzeugt und dann über eine Glasfaser in den Sensorkopf geleitet. Im Sensorkopf wird ein Teil des Lichts durch die Glasfaser wieder in das Gerät zurückreflektiert. Der Rest des Lichtes verlässt die Glasfaser und wird vom Messobjekt, zum Beispiel dem Maschinenteil oder auch einem dort angebrachten Spiegel, reflektiert und gelangt wieder über die Glasfaser zurück in das Basismodul. Die beiden am Sensorkopf und am Messobjekt reflektierten Strahlen interferieren. Aus der Gesamtintensität des interferierten Lichts lässt sich die Abstandsänderung zwischen Sensorkopf und Messobjekt bestimmen. Mit einem integrierten Webserver wird die Sensorik initialisiert, konfiguriert, ausgerichtet und der Datenaustausch eingerichtet. Spezifische Kenntnisse sind hierfür nicht erforderlich. Verschiedene Echtzeit- Schnittstellen und Protokolle ermöglichen die Übertragung der Positionsdaten an CNC-Controller oder RTOS-Computer. Weitere industrieübliche Schnittstellen wie CANopen, Profinet, Profinet RT und EtherCAT können auf Kundenwunsch angeboten werden. Beim Einsatz des IDS mit Pilotkunden aus dem Präzisionsmaschinenbau haben sich folgende Haupteinsatzfelder herauskristallisiert: 1. Kalibrierung von Achsen in Werkzeug und Koordinatenmessmaschinen Michelson-Laserinterferometer haben sich als hochpräzise Primärmesssysteme zur Kalibrierung von Maschinen und Messmaschinen bewährt. Mit ihnen werden in Werkzeugmaschinen beispielsweise mechanisch bedingte Abweichungen von Linearachsen in x-Abständen gemessen, in Tabellen erfasst und diese Werte zur Korrektur in die Maschinensteuerung eingespeist. Diese Korrektur erlaubt es, die Absolutgenauigkeit der Maschinen zu erhöhen beziehungsweise konstant zu halten. Die Montage der Michelson-Interferometer auf Stativen ist zeitintensiv, und die Anschaffungskosten sind extrem hoch. Durch seine kompakte Bauform und die kleinen Sensorköpfe ist der IDS3010 im Gegensatz dazu leichter an die Maschinen applizierbar. Zudem liegen die Kosten des Attocube Interferometers – trotz höchster Genauigkeit (0.00 pm bei 3 m) und Messbandbreite – deutlich unter dem Preis der typischerweise am Markt erhältlichen Geräte. 2. Mess- und Prüfmittel in der Qualitätssicherung (Feinmessräume) Als Mess- und Prüfmittel ist die Sensorik universell einsetzbar: Winkelversatz, Parallelitäten, Verkippungen, Unrundheiten und Exzentrizitäten lassen sich mit dem IDS im Nanometerbereich schnell und vollkommen berührungslos bestimmen. Die einfache Inbetriebnahme und Konfiguration machen das Gerät für den Einsatz in der Qualitätssicherung mit häufig wechselnden Aufgaben sehr attraktiv. p Mit Hilfe eines integrierten Webservers wird der Sensor initialisiert, konfiguriert und der Datenaustausch eingerichtet. 3. Integrierte Lösung in hochpräzisen Fertigungsmaschinen, Koordinatenmessmaschinen und Servoantrieben In der Praxis werden aus Mangel an Alternativen in Werkzeugmaschinen Messsysteme zur Positionsbestimmung in einem mehr oder weniger großen Abstand – bei Linearsystemen zum Beispiel parallel zum zu messenden Objekt – angeordnet. Durch diesen „Hebel“ entstehen unvermeidbare systematische Kippfehler – Abbefehler genannt. Dazu addieren sich während des Betriebs Verschleiß in den Lagern und Führungen, temperaturbedingte Dehnungen des Messsystems und prozessbedingte Verformungen der Maschine. In Summe sind dies „Maschinenfehler“, die in den Messwerten der konventionellen Messsysteme enthalten sind. Die Kompensation dieser Messfehler ist nur bedingt möglich und begrenzt sehr die erreichbare Messgenauigkeit. Eine Steigerung der Messgenauigkeit von konventionellen Messsystemen in den (Sub-)Mikrometerbereich führt daher in der Regel nicht zu höherer Fertigungspräzision. Dagegen


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